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中文名稱 六甲基二硅氮烷

英文名稱 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane

中文別名 六甲基二硅亞胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷;六甲基二硅胺烷;HMDS

CAS RN 999-97-3

EINECS號 213-668-5

分 子 式 C6H19NSi2

分 子 量 161.39